Vol. 4 No. 7 (2026), Articles
Vol. 4 No. 7 (2026)

“YUPQA QATLAMLI METALL KONTAKTLARNI ION PLAZMA USULI ORQALI HOSIL QILISH”

Articles
Published 2026-05-09
I.R.Bekpulatov
DSc, dots Qarshi davlat universiteti
Musharrafova Barchinoy Olim qizi
Talaba: Qarshi davlat universiteti Fizika fakulteti Fizika yoʻnalishi N4/25 Nazariy va eksperimental fizika kafedrasi
PDF

Keywords

Yuqori qatlamli metall kontaktlar, Metall qatlamlar, Fizik-kimyoviy xususiyatlar, Mustahkamlik, Ishlash muddati, Eksperimental natijalar

Abstract

Maqolada yuqori qatlamli metall kontaktlarni ion plazma usuli orqali hosil qilish jarayoni tahlil qilinadi. Metall kontaktlar, zamonaviy elektron qurilmalarda muhim rol o'ynaydi va ularning sifatini oshirish uchun yangi texnologiyalar zarur. Ion plazma usuli yordamida metall qatlamlarining fizik-kimyoviy xususiyatlarini yaxshilash, ularning mustahkamligini va ishlash muddatini uzaytirish mumkin. Maqolada ion plazma usulining afzalliklari, jarayonning texnologik jihatlari va eksperimental natijalar keltiriladi. Shuningdek, bu usulning turli metallarga qo'llanilishi va uning sanoatdagi amaliy ahamiyati ham ko'rib chiqiladi.

PDF

References

Abdurahmonov, Q. P., Ernazarov, B. K. Mikroelektronika asoslari: Yupqa qatlamli texnologiyalar va integral mikrosxemalar ishlab chiqarishning texnologik bosqichlari. – Toshkent: "Aloqachi", 2018. – 45-b.

2. Karimov, I. N. Vakuumli va ion-plazmali texnologik jarayonlar: Metall qatlamlarni purkash va materiallar sirtini modifikatsiyalash usullari. – Toshkent: "TDTU nashriyoti", 2021. – 110-b.

3. Mavlonov, R. A. Qattiq jism elektronikasi: Yarimo‘tkazgichli asboblar texnologiyasi va kontakt hodisalarining fizik xususiyatlari. – Farg‘ona: "Farg‘ona nashriyoti", 2017. – 155-b.

4. Sultonov, Sh. S. Yupqa qatlamlar fizikasi: Kondensatsiyalangan muhitlar, sirt hodisalari va kristallarning o‘sish nazariyasi asoslari. – Toshkent: "Universitet", 2015. – 140-b.

5. Tursunov, M. N. Yarimo‘tkazgichli quyosh elementlari texnologiyasi: Metall kontaktlarni hosil qilish va ularning elektr xarakteristikalarini optimallashtirish. – Toshkent: "Fan", 2019. – 120-b.

6. Xoliqov, K. T. Nanoelektronika va nanotexnologiya: Yupqa qatlamli tuzilmalarni ion-nurli usullar yordamida tadqiq qilish va yaratish. – Samarqand: "SamDU nashriyoti", 2022. – 95-b.

7. Yuldashev, N. X. Fizik elektronika: Ion va elektron dastalarning qattiq jism sirti bilan o‘zaro ta’siri hamda qatlamlarni cho‘ktirish. – Toshkent: "Innovatsiya-Ziyo", 2020. – 175-b.

8. Zaynabiddinov, S. Z. Yarimo‘tkazgichlar fizikasi: Mikroelektronika qurilmalarida metall-yarimo‘tkazgich kontaktlarining shakllanishi va roli. – Toshkent: "O‘qituvchi", 2014. – 205-b.